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SiC在异质衬底生长金刚石膜的作用分析
SiC在异质衬底生长金刚石膜的作用分析
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摘要：
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石墨衬底生长高质量金刚石膜的优势
石墨衬底
晶体取向
热导率
断裂强度
类金刚石膜在模具中的应用
类金刚石膜
力学性能
模具
金刚石厚膜的微结构研究
金刚石厚膜
等离子体刻蚀
生长特性
晶界
金刚石膜介电性能影响因素的研究
金刚石
自支撑金刚石膜
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真空科学与技术学报
主办单位：
中国真空学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
开本：
大16开
出版地：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
邮发代号：
创刊时间：
1981
语种：
chi
出版文献量（篇）
4084
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3
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