液相外延系统中高指标热场的实现

• 作者: 罗卫国 蒲勇 袁章其
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热场 降温速率 降温平台 串级控制 PID调节
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 70-74
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2042字
• 语种: 中文

摘要

高精度、高稳定性、高降温速率的热场,是液相外延设备研制中的关键技术之一.介绍了热场的结构设计、炉温的控制及调试结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁章其		1	0	0.0	0.0
2	罗卫国		1	0	0.0	0.0
3	蒲勇		1	0	0.0	0.0