退火对Ti离子注入LiNbO3光波导的影响

• 作者: 何晓东 刘大力 李公羽 鲁平
• 来源期刊: 长春邮电学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 介质光波导 退火
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: TN25
• 字数: 1643字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5896.2000.02.002

摘要

以高质量的LiNbO3晶体为衬底，采用离子注入技术制备出低损耗的LiNbO3光波导。测试了其背散射谱，并对相应的结果做了分析，为解决光波导的横向扩散问题提供了一条可行途径。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘大力	长春邮电学院通信工程系	8	19	3.0	4.0
2	李公羽	长春邮电学院通信工程系	3	6	2.0	2.0
3	何晓东	长春邮电学院通信工程系	9	18	3.0	4.0
4	鲁平	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	3	1.0	1.0