提高半导体气敏元件检测能力的研究

• 作者: 边志华
• 来源期刊: 太原理工大学学报
• 关键词: 气敏元件 灵敏度 热稳定性
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 页码范围: 113-115
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.05
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9432.2000.02.003

摘要

通过对半导体气敏元件基体材料和制作工艺的分析研究,指出了提高气敏元件检测能力的途径.采用添加技术、超微细化技术、表面修饰技术和控制其工作温度,可提高气敏元件的灵敏度和选择性;恒流加热法是提高气敏元件热稳定性的主要手段;新材料、新技术的引入将进一步改善半导体气敏元件的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	边志华	太原理工大学图书馆	12	39	4.0	6.0