多弧离子镀(Ti,W)xN合金涂层组织与性能

• 作者: 吴起白 曾鹏 胡社军 谢光荣 黄拿灿
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 多弧离子镀 (Ti,W)xN涂层 组织性能 成分离析
• 年，卷（期）: 2000,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 33-35,41
• 页数: 4页
• 分类号: TG142|O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2000.09.010

摘要

采用Ti/W复合靶用多弧离子镀技术沉积了(Ti,W)xN合金涂层,并对该涂层的组织与性能进行了研究.结果表明,涂层组织致密,孔隙率极低,主要结构为(Ti,W)2N,并具有较高的显微硬度和抗氧化性.在沉积过程中存在着多元合金涂层与复合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾鹏	广东工业大学材料能源学院	64	572	13.0	20.0
2	胡社军	广东工业大学材料能源学院	66	842	14.0	26.0
3	谢光荣	广东工业大学材料能源学院	82	729	14.0	23.0
4	黄拿灿	广东工业大学材料能源学院	48	688	14.0	24.0
5	吴起白	广东工业大学材料能源学院	28	190	9.0	12.0