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溅射离子泵控制电源的自动保护功能
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摘要：
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一种真空离子溅射镀膜设备控制软件的设计
离子束溅射技术
真空镀膜
控制软件
指令集
重构
基于DSP的直流磁控溅射电源设计
磁控镀膜
开关电源
仿真
DSP
自调整换向控制的变极性等离子弧焊接电源
变极性等离子弧焊
焊接电源
自调整换向
VPS60型溅射离子泵电源电路剖析
VPS60型溅射离子泵
倍压整流
射极跟随器
对数放大器
跳闸
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期刊影响力
真空
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
开本：
大16开
出版地：
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号：
8-30
创刊时间：
1964
语种：
chi
出版文献量（篇）
2692
总下载数（次）
3
总被引数（次）
12898
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