离子辅助轰击能量对类金刚石薄膜性能的影响

• 作者: 李文治 温诗铸 王静 雒建斌 齐军
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 类金刚石薄膜 IBAD 纳米硬度
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 3-5,44
• 页数: 4页
• 分类号: O484.5|TB302.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2000.02.001

摘要

研究了利用IBAD方法沉积类金刚石薄膜时,离子的辅助轰击能量对薄膜的微观结构、表面粗糙度、弹性、硬度以及摩擦系数的影响,获得了机械和摩擦性能优异的类金刚石薄膜.讨论了薄膜微观结构和性能之间的关系,分析了不同硬度测试方法的差异.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温诗铸		156	3364	28.0	50.0
2	雒建斌		96	1802	22.0	37.0
3	王静		29	125	6.0	10.0
4	齐军		3	15	2.0	3.0
5	李文治		9	150	6.0	9.0