数字化技术在玻璃表面检测系统中的应用

• 作者: 莫卫东 高伯龙
• 来源期刊: 空军工程大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 干涉仪 数字图像处理 Zernike多项式拟合 平面玻璃表面
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1
• 字数: 4376字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-3516.2000.05.001

摘要

通过把传统光学方法与现代数字化图像技术相结合,运用先进的数字化图像处理手段和Zernike多项式拟合干涉波面方法进行干涉图像的计算,并应用自己在理论研究上的突破,从而可快速准确测量出光学平面玻璃表面的平整度以及对其它技术指标的定量评定.利用本研究所架构的光学平面玻璃表面检测系统的精度达到了λ/100,灵敏度为λ/1000.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高伯龙	国防科技大学应用物理系	5	28	3.0	5.0
2	莫卫东	空军工程大学工程学院	23	175	7.0	13.0