用交变电场进行微小粒子操作的方法

• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 交变电场 微粒 操作
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术电子束技术
• 页码范围: 49-52，48
• 页数: 5页
• 分类号: TP271+4
• 字数: 2115字
• 语种: 中文

摘要

介绍了用交变电场对微小粒子进行操作的一种新型装置.对粒子的操作不仅可以批量进行,而且可以单个进行.通过对铝粒子的搬运试验,证明了此装王的可行性,也给出了此种装置对粒子的一般操作特性.