亚微米投影光刻物镜MTF的简便测定方法

• 作者: 何上封 陈元培
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻物镜 光学调制传递函数 电荷耦合器件
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TB8
• 字数: 1647字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2000.03.002

摘要

线性光学系统的光学传递函数可由线扩散函数的傅里叶变换求出.研究了用电荷耦合器件测量亚微米投影光刻物镜的MTF值的系统,用CCD作为光电转换器件,对CCD接收到的LSF的光强信号进行视频放大、采样,用数字存储示波器可方便地测得系统的MTF值.作为测量实例,最后给出了测量得到的g线、i线光刻物镜的MTF曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈元培	中国科学院光电技术研究所	12	54	4.0	7.0
2	何上封	中国科学院光电技术研究所	1	0	0.0	0.0