HFCVD法沉积金刚石薄膜中热丝优化方法

• 作者: 严辉 宋雪梅 张兴旺 张生俊 王波 陈光华
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 金刚石薄膜 CVD 热丝
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 269-274
• 页数: 6页
• 分类号: O781
• 字数: 361字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.03.012

摘要

本文探讨了在HFCVD(hot filament chemical vapor deposition)沉积金刚石薄膜中热丝数量、位置等几何参数对温度场和辐射场的影响.利用系统热传递模型和计算机辅助的数值解方法得到了该方法沉积大面积金刚石薄膜中衬底表面温度分布和热辐射能量密度分布.发现金刚石薄膜的均匀性受热辐射能量密度分布影响较大.进一步给出了沉积面积为100mm×100mm的金刚石薄膜的最佳参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严辉	北京工业大学材料科学与工程学院	178	1225	16.0	29.0
2	王波	北京工业大学材料科学与工程学院	80	638	11.0	23.0
3	陈光华	北京工业大学材料科学与工程学院	65	396	11.0	16.0
4	宋雪梅	北京工业大学材料科学与工程学院	44	498	11.0	21.0
5	张生俊	北京工业大学材料科学与工程学院	7	43	4.0	6.0
6	张兴旺	北京工业大学材料科学与工程学院	3	10	2.0	3.0