新型非晶硅全色传感器

• 作者: 石立峰
• 来源期刊: 国外传感技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶硅 全色传感器 叠层结构
• 年，卷（期）: 2000,（6）
• 页码范围: 213-217
• 页数: 5页
• 分类号: TP212

摘要

推出一种对全色波长敏感的新型非晶硅色传感器。这种器件采用ｐ－ｉ－ｎ／ｐ－ｉ－ｎ叠层结型结构，其特点是，通过调节加在外加极两端的偏压，在整个可见光区段能有效地控制其光谱灵敏度。本文就器件结构，设计标准，样品制备及光谱灵敏度作了介绍，给出不同外加偏压下光谱响应的一系列数据及信号处理系统，举出精密色差检测的应用实例，并作了探讨。