双频激光在超精孔径测量中的应用

• 作者: 刘国栋 浦昭邦 赵辉 韩德东
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 孔径 双频激光 测量
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 测量
• 页码范围: 435-436,439
• 页数: 3页
• 分类号: TG81|TN249|TN384
• 字数: 2047字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2000.05.006

摘要

一种以激光波长为基准的小孔孔径超精测量系统,采用双频激光干涉技术、温度误差实时修正技术和符合阿贝原则的合理布局,在8mm～50mm的范围内实现0.01μm的分辨力和0.1μm的测量精度.该方法已成功应用在惯性仪表零件孔径及垂直度的超精测量中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	浦昭邦	哈尔滨工业大学自动化测试及控制系	108	1776	24.0	36.0
2	赵辉	哈尔滨工业大学自动化测试及控制系	42	514	12.0	21.0
3	韩德东	哈尔滨工业大学自动化测试及控制系	19	123	6.0	10.0
4	刘国栋	哈尔滨工业大学自动化测试及控制系	79	1002	15.0	28.0