LCD工业用自动椭偏仪的设计思路

• 作者: 刘立国 吕正德 朱鹤年
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 椭圆偏振测量术 自动椭偏仪 LCD 薄膜
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与技术
• 页码范围: 466-469
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.2|O436.3
• 字数: 2667字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2000.05.014

摘要

简要介绍了椭圆偏振测量术的基本原理及自动椭偏仪,并设计制作了一台新型自动消光椭偏仪的原理样机.分析了各种可用于液晶显示器(LCD)膜系测量的技术,指出由于自动椭偏仪具有无损探测、测量准确度高和测量迅速等特点,非常适合用于LCD薄膜系统的在线监测.并且,自动椭偏仪在其他领域的测量应用前景也很好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘立国	清华大学物理系	4	33	3.0	4.0
2	吕正德	清华大学物理系	2	7	1.0	2.0
3	朱鹤年	清华大学物理系	28	131	7.0	9.0