用PECVD在低温衬底上制备类金刚石碳膜

• 作者: 廖显伯 邓勋明
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石碳膜 等离子体化学气相沉积 光学性能
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 220-223
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.03.002

摘要

本文报道用 RF PECVD在低温衬底上制备了类金刚石碳(DLC)膜.研究了氢稀释、气体压力和 RF 功率对薄膜性质的影响. 用光透射率、红外吸收谱和小角度X射线衍射谱分析了DLC膜的结构和光学性质.结果表明,这样制备的DLC膜是无定形态的,包含了大量的C-H键,具有良好的透明性.厚度为230nm的DLC膜在480nm后的可见光区和近红外区的透过率大于83%,所导出的Tauc光学带隙在2.7eV和3.7eV之间.本文还探讨了应用这种DLC膜作为二次电子发射材料的可能性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓勋明		1	6	1.0	1.0