IBAD MoS2-Ta复合膜的氧化行为研究

刘仲阳; 廖小东; 王培录

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IBAD MoS2-Ta复合膜的氧化行为研究

作者：

刘仲阳廖小东王培录

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文献信息

篇名	IBAD MoS2-Ta复合膜的氧化行为研究
来源期刊	真空科学与技术学报	学科
关键词
年，卷（期）	2000,（4）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	282
页数	1页	分类号
字数	3652字	语种	中文
DOI	10.3969/j.issn.1672-7126.2000.04.014

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