硅基片上新型的微加工电感器

• 作者: 陈剑
• 来源期刊: 电子变压器技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微加工 硅基片 电感器
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TM55

摘要

已用微加工技术制造了双层水平迭装螺旋式铜箔导线和坡莫合金磁芯，描述了它们的特性并进行了比较。本研究中，发现用水平分层磁性合金铁芯电感比不用分层方式的电感有更好的高频特性。例如：电感量大、品质因数高以及交流电阻低，从而在高频工作时磁芯损耗小。