冷等离子体提纯硅粉薄层的实验研究

• 作者: 何笑明 冯信华 尹盛 王敬义 陈丽
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 冷等离子体 硅 纯化 太阳级
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 页码范围: 204-207
• 页数: 4页
• 分类号: TK51
• 字数: 2814字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-0096.2000.02.016

摘要

研究了冷等离子体提纯硅粉薄层时硅粉的粒度与硅粉薄层的厚度对提纯效果的影响.实验表明,硅粉的颗粒大小在60-80μm之间,硅薄层的厚度为0.5mm时提纯效果较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王敬义	华中理工大学电子科学与技术系	8	43	5.0	6.0
2	冯信华	华中理工大学电子科学与技术系	7	34	4.0	5.0
3	尹盛	华中理工大学电子科学与技术系	6	37	5.0	6.0
4	何笑明	华中理工大学电子科学与技术系	4	25	3.0	4.0
5	陈丽	华中理工大学电子科学与技术系	2	8	2.0	2.0