电镀法制作活动微结构的牺牲层工艺

• 作者: 刘刚 张新夷 田扬超 胡一贯 阚娅 陈大鹏
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 牺牲层 电镀 微细加工 LIGA技术
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 62-65
• 页数: 4页
• 分类号: TP271
• 字数: 1792字
• 语种: 中文

摘要

报道了一种采用电镀方法制作活动微结构的牺牲层工艺,该牺牲层技术可用于微电子机械装置中活动部件的制作.利用电镀形成Zn牺牲层,结合微细加工技术中的LIGA工艺对该工艺进行了验证,制作出可活动的微齿轮结构,齿轮直径为250μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘刚	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	207	2369	24.0	40.0
2	陈大鹏	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	79	466	10.0	17.0
3	田扬超	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	50	372	12.0	17.0
4	张新夷	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	35	151	8.0	11.0
5	阚娅	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	6	86	4.0	6.0
6	胡一贯	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	2	49	2.0	2.0