多晶硅薄膜的新型激光晶化制备方法

• 作者: 周雪梅 徐重阳 戴永兵 曾祥斌 王长安 赵伯芳
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅薄膜 拉曼光谱 激光晶化制备方法
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 7-8
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1389字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2000.01.004

摘要

采用两步激光晶化方法制备了多晶硅薄膜,其晶粒尺寸为1.1 μm,比用传统单步晶化制备的薄膜晶粒尺寸大,表明该方法对扩大晶粒尺寸很有效.拉曼光谱分析表明0.30 J/cm2晶化的薄膜结晶程度已很高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐重阳	华中理工大学电子科学与技术系	33	239	9.0	14.0
2	曾祥斌	华中理工大学电子科学与技术系	8	34	3.0	5.0
3	戴永兵	华中理工大学电子科学与技术系	4	21	3.0	4.0
4	王长安	华中理工大学电子科学与技术系	7	32	3.0	5.0
5	周雪梅	华中理工大学电子科学与技术系	6	32	3.0	5.0
6	赵伯芳	华中理工大学电子科学与技术系	7	39	4.0	6.0