光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高

• 作者: 冯长有 张红胜
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 圆光栅 刻划误差 常角法
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 测试技术及设备
• 页码范围: 482-486
• 页数: 5页
• 分类号: TN253
• 字数: 3396字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2000.05.018

摘要

用公式推导说明了影响光电定角比相法检测圆光栅刻划误差测量精度的因素,并用两台测量精度不同的仪器做了实验验证.文中提出,在仪器稳定,主轴回转精度高的前提下,再采用分光裂相法读数,异或门鉴相、"内插法"、"对称联系法"等措施,就能获得较高的测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张红胜	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	16	137	6.0	11.0
2	冯长有	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	7	117	5.0	7.0