梳状型高线性度一维位敏检测器

• 作者: 唐九耀 曹向群 林斌 陈钰清 黄梅珍
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 位敏检测器 梳状结构 高线性度
• 年，卷（期）: 2000,（8）
• 所属期刊栏目: 传感器
• 页码范围: 764-768
• 页数: 5页
• 分类号: TP2
• 字数: 2300字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种梳状型一维位敏检测器(PSD)的结构,对其工作原理进行了分析.比较测试了这种梳状结构(1mm×12mm) PSD 与普通块状型结构(1mm×3mm) PSD 的线性度,实验表明:梳状结构的PSD具有极高的线性度(均方根非线性为0.17%F.S)和较小的边缘失真.对影响一维PSD线性度的因素进行了分析,并对结果进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林斌	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	69	777	15.0	26.0
2	曹向群	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	35	283	8.0	16.0
3	陈钰清	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	24	257	9.0	15.0
4	唐九耀	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	16	198	7.0	14.0
5	黄梅珍	浙江大学国家光学仪器工程技术研究中心	3	88	3.0	3.0