1.06μm波段大口径无规位相板制作与性能测试

• 作者: 刘增水 王润文 赵永凯 路敦武 黄惠杰
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 无规位相板 靶面均匀辐照 焦斑光强分布
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 55-57
• 页数: 3页
• 分类号: TL632.1
• 字数: 2037字
• 语种: 中文

摘要

利用大面积光刻和腐蚀等工艺,研制成功了一块用于激光直接驱动约束聚变装置的1.06μm波段、口径为φ250mm的无规位相板.台阶几何深度实测值与理论值的相对偏差为1.24%,该位相板可获得边缘陡直、近似平顶的焦斑光强分布.表明该工艺可适用于大口径无规位相板的制作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王润文	中国科学院上海光学精密机械研究所	15	84	6.0	8.0
2	黄惠杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	69	544	13.0	23.0
3	赵永凯	中国科学院上海光学精密机械研究所	16	246	7.0	15.0
4	路敦武	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	47	2.0	4.0
5	刘增水	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0