LIGA技术制造微流量计的研究

• 作者: 伊福廷 刘刚 张鹏 洪义麟 田学红 田扬超 阚娅
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微流量计 LIGA 微装配
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 73-76
• 页数: 4页
• 分类号: TP271+.3
• 字数: 1741字
• 语种: 中文

摘要

介绍了利用LIGA技术中的同步辐射光刻、微电铸技术和微装配技术制作微流量计的研究,讨论了微流量计的结构和工作原理,设计和研制了一种微流量计.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	220	1605	21.0	32.0
2	刘刚	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	207	2369	24.0	40.0
3	洪义麟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	56	478	13.0	19.0
4	田扬超	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	50	372	12.0	17.0
5	田学红	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	9	123	6.0	9.0
6	伊福廷	中国科学院高能物理所同步辐射室	38	150	6.0	10.0
7	阚娅	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	6	86	4.0	6.0