用于测量微机械部件振动的光纤斐索干涉仪

• 作者: 方祖捷 王向朝 瞿荣辉 蔡海文 陈高庭
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 物理学
• 关键词: 微电子机械 光纤斐索干涉仪 微小位移测量
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文与技术报告
• 页码范围: 221-224
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1
• 字数: 3285字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2000.03.021

摘要

提出一种结构简单、使用方便的用于微电子机械部件运动状态测量的光纤斐索干涉装置.考虑到光纤出射光束的发散,在有效反射率中引入了损耗因子,讨论了它的基本工作原理.为了提高测量精度和最小可探测距离,光纤探头固定在一个PZT上作可控调制.用该装置测量了喇叭膜片在多种驱动条件下的运动状态,进行了数据处理和讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0
2	蔡海文	中国科学院上海光学精密机械研究所	102	888	17.0	27.0
3	瞿荣辉	中国科学院上海光学精密机械研究所	117	1459	21.0	34.0
4	陈高庭	中国科学院上海光学精密机械研究所	62	886	18.0	28.0
5	方祖捷	中国科学院上海光学精密机械研究所	158	2256	27.0	39.0