一种新型集成微麦克风和扬声器的设计

• 作者: 任天令 刘理天 张林涛 李志坚
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 集成微麦克风和微扬声器 PZT 铁电薄膜 悬臂式结构
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 页码范围: 233-237
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1|TM22.1
• 字数: 2190字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2000.04.001

摘要

基于现有的硅基Pb(Zr,Ti)O3(PZT)铁电薄膜的制备工艺,提出了一种用于微麦克风和扬声器的新型PZT悬臂式振膜结构.对这种悬臂结构的结构参数进行了优化设计,并对其灵敏度和声输出进行了理论分析.结果表明采用这种PZT悬臂式结构的微麦克风和扬声器的性能有望超过以往文献中报道过的微麦克风和扬声器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子所	87	600	13.0	19.0
3	李志坚	清华大学微电子所	84	451	11.0	15.0
4	张林涛	清华大学微电子所	10	68	5.0	7.0