溶胶-凝胶法制备掺铌的SrTiO3薄膜

• 作者: 赵苏串 魏敏敏
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 钛酸锶薄膜 介质薄膜
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 5-6
• 页数: 4页
• 分类号: TM283
• 字数: 2585字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2000.01.003

摘要

采用溶胶-凝胶法,用醋酸锶、钛酸丁酯、乙醇铌作为前驱体,用旋涂法制备掺铌钛酸锶多晶薄膜.用醋酸作为醋酸锶溶剂,并用丙三醇作为辅助溶剂,溶胶浓度及黏度均可在较大范围内调节.经600℃热处理后薄膜转化为钙钛矿结构,扫描俄歇电子显微镜所做表面形貌与元素分析表明薄膜均匀、无裂纹、表面光滑、晶粒细小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵苏串	上海大学物理系	7	46	3.0	6.0
2	魏敏敏	上海大学材料科学与工程学院	2	28	2.0	2.0