分布串联横向电阻Spindt型FEA的研究

• 作者: 姚保纶 张金驰 李德杰 王炜
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: Spindt型FEA 横向电阻层 光刻 电子束蒸发
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 13-18
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 字数: 2687字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种新型的分布串联横向电阻Spindt型FEA的制作工艺.通过溅射的办法制备了各层电极、绝缘层以及FEA电阻层.利用磁增强反应离子刻蚀设备,刻蚀出Mo薄膜电极图案和直径1μm,深度1μm的SiO2绝缘层圆孔.利用电子束双源蒸发设备,蒸发Al和Mo薄膜,得到Mo的微尖阵列,制成了分布串联横向电阻Spindt型FEA.最后得到了常规条件下可测量的场发射.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李德杰	清华大学电子工程系	34	152	8.0	10.0
2	姚保纶	清华大学电子工程系	7	18	3.0	4.0
3	王炜	清华大学电子工程系	15	55	5.0	7.0
4	张金驰	清华大学电子工程系	1	1	1.0	1.0