CVD金刚石膜的机械抛光加工研究

• 作者: 余忠民 匡同春 王成勇 白晓军 郭钟宁
• 来源期刊: 硬质合金
• 关键词: CVD金刚石膜 机械抛光 表面形貌
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 材料工艺
• 页码范围: 151-155
• 页数: 5页
• 字数: 3967字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7292.2000.03.006

摘要

在简要综述CVD金刚石膜光整加工方法的基础上，在自动抛磨机上对CVD金刚石厚膜进行了初步的机械抛光工艺研究，借助扫描电子显微镜(SEM)对抛光前后及抛光过程中CVD金刚石膜的表面形貌变化进行了观察，初步讨论了CVD金刚石的去除过程。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭钟宁		197	1090	16.0	23.0
2	王成勇		186	2516	26.0	39.0
3	匡同春		44	550	11.0	22.0
4	白晓军		33	402	10.0	19.0
5	余忠民		4	41	3.0	4.0