φ360mm激光平面干涉仪

• 作者: 李锡善 柴洪钧 梁景芳 王德林
• 来源期刊: 光学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉仪 光学测量 光学制造技术
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器及装置
• 页码范围: 28-33
• 页数: 6页
• 分类号: TH74
• 字数: 2299字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-5630.2000.02.005

摘要

为了强激光工程的需要,研究制造了一台口径360mm卧式激光平面干涉仪.仪器的测量精度为λ/20,仪器配有CCD相机图像处理系统,可目测,可拍摄照片,也可进行数字化处理.实用结果表明,该仪器是一台适合于光学车间生产检验的大口径高精度激光平面干涉仪.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李锡善	中国科学院上海光学精密机械研究所	3	10	1.0	3.0
2	梁景芳	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	9	1.0	1.0
3	王德林	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	9	1.0	1.0
4	柴洪钧	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	9	1.0	1.0