离子束感生电荷显微术的研究

• 作者: 朱节清 李晓林 王基庆 裘惠源 郭盘林
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 核子微探针 离子束感生电荷 低束流技术
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 35-37,52
• 页数: 4页
• 分类号: TO304.07
• 字数: 2098字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.02.011

摘要

使用低束流技术,在高分辨率扫描质子微探针装置上开展了离子束感生电荷显微术,并研究了半导体材料GaAs的电子学性能.实验结果表明,在同一扫描区域内,材料的电荷收集效率具有不均匀特性,而且氦离子激发产生的IBIC显微图谱的对比度比质子要强.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王基庆	中科院上海原子核研究所核分析开放实验室	1	0	0.0	0.0
2	李晓林	中科院上海原子核研究所核分析开放实验室	1	0	0.0	0.0
3	郭盘林	中科院上海原子核研究所核分析开放实验室	1	0	0.0	0.0
4	裘惠源	中科院上海原子核研究所核分析开放实验室	1	0	0.0	0.0
5	朱节清	中科院上海原子核研究所核分析开放实验室	1	0	0.0	0.0