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微电子机械系统的发展及未来
微电子机械系统的发展及未来
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摘要：
介绍了微电子机械系统(MEMS)的技术、材料、器件及应用,讨论了它的发展趋势及将来的市场.
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微电子机械系统的几个力学问题
微电子机械系统
界面(相)力学
薄膜基底结构
弹塑性一粘着接触力学
微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术
微电子机械系统
微电子
光测力学
微电子机械系统中微尺度热物性研究进展
微尺度
薄膜
热物性参数
微电子机械系统
微电子机械系统的力学特性与尺度效应
微电子机械系统
硅材料
尺度效应
微执行器
微机器人
微机械
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研究主题发展历程
节点文献
微电子机械系统
微传动装置
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光电子技术
主办单位：
南京电子器件研究所
出版周期：
季刊
ISSN：
1005-488X
CN：
32-1347/TN
开本：
16开
出版地：
南京中山东路524号（南京1601信箱43分箱）
邮发代号：
创刊时间：
1981
语种：
chi
出版文献量（篇）
1338
总下载数（次）
4
总被引数（次）
7328
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