电子回旋共振等离子体源的特性

• 作者: 刘仲阳 孙官清 张大忠 钟光武 陈剑宣
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子回旋共振 等离子体源 特性
• 年，卷（期）: 2000,（10）
• 页码范围: 707
• 页数: 6页
• 分类号: TL503.3
• 字数: 2217字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2000.10.007

摘要

简要描述了一台频率为2.45GHz的电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性测试，结果表明，放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系 。当磁场达到共振条件87.5mT时，等离子体很易产生，但等离子体密度的最大值却出现在93mT处。ECR源在真空度为0.11Pa间均能运行。由石英、Al2O3陶瓷和BN构成的 微波输入窗有良好的阻抗匹配，在微波功率为200700W间，反射系数仅为1%，等离子体密度达5.8×1011cm-3，电子温度为312eV，该源的寿命超过300h。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘仲阳	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理与技术开放实验室	16	109	7.0	10.0
2	张大忠	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理与技术开放实验室	4	29	3.0	4.0
3	孙官清	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理与技术开放实验室	12	77	5.0	8.0
4	陈剑宣	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理与技术开放实验室	3	23	2.0	3.0
5	钟光武	四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理与技术开放实验室	1	18	1.0	1.0