LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计

• 作者: 周迪 张卫平 范志荣 陈文元
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: LIGA技术 微齿轮 CAD
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 66-70,65
• 页数: 6页
• 分类号: TN271+.4
• 字数: 2423字
• 语种: 中文

摘要

介绍了用LIGA技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中,X光掩模板图形的CAD设计.它包括微齿轮的建模和图形的生成,微齿轮图形的分割及图形的拟合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈文元	上海交通大学信息存储研究中心	56	274	10.0	14.0
2	张卫平	上海交通大学信息存储研究中心	57	414	10.0	19.0
3	范志荣	上海交通大学信息存储研究中心	4	65	3.0	4.0
4	周迪	上海交通大学信息存储研究中心	14	85	5.0	9.0