三维表面微观形貌的测量方法

• 作者: 强锡富 李成贵 李行善
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: +表面形貌 三维测量 发展趋势
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 页码范围: 2-10
• 页数: 9页
• 分类号: V4
• 字数: 6775字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-7202.2000.04.001

摘要

分析了表面结构的形成过程及其分类,介绍了目前在3D微观形貌测量过程中广泛使用的触针法、扫描探针显微镜和几种光学方法的基本原理、测量范围、分辨力等特性.最后指出了3D分析技术的现状和将来的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李成贵	北京航空航天大学自动化学院	91	890	16.0	25.0
2	李行善	北京航空航天大学自动化学院	51	1697	21.0	41.0
3	强锡富	北京航空航天大学自动化学院	1	63	1.0	1.0