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磁控溅射沉积铀薄膜组织结构研究
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摘要：
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磁控溅射沉积U薄膜性能研究
U薄膜
组织
结构
密度
磁控溅射制备金属铀膜
金属铀膜
磁控溅射
表面粗糙度
中频脉冲磁控溅射沉积氮化铝薄膜及性能研究
氮化铝
形貌
折射率
磁控溅射
铝表面磁控溅射沉积不锈钢薄膜及其性能
直流反应磁控溅射
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相关学者/机构
期刊影响力
真空
主办单位：
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1002-0322
CN：
21-1174/TB
开本：
大16开
出版地：
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号：
8-30
创刊时间：
1964
语种：
chi
出版文献量（篇）
2692
总下载数（次）
3
总被引数（次）
12898
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