薄膜结构的复合氟离子敏感电极的研究

• 作者: 何杏君
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氟离子敏电极银-氯化银电极灵敏度蒸发技术
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 目次
• 页码范围: 318-321
• 页数: 4页
• 分类号: TP21
• 字数: 2149字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2000.04.016

摘要

复合氟离子敏感电极是用热蒸发的方法在硅基片上制备的．参比电极用热蒸发的银－氯化银薄膜电极，为了提高氯化银薄膜的坚固性和可靠性，又在氯化银表面涂复一层1000 A的含氯离子的有机聚合物薄膜．采用溶胶－凝胶法[1，2]制备二氧化硅对电极引线的焊点和器件的侧、背面进行封装．因此这种电极不仅体积小、可靠性高，而且，由于这些薄膜可以在蒸发台内依次完成，减少了污染，适于大规模生产．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何杏君	南开大学电子科学系	1	0	0.0	0.0