DEM技术中微复制工艺研究

• 作者: 张卫平 李昌敏 蔡炳初 陈迪 雷蔚
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: DEM技术 微复制 微结构
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 61-65
• 页数: 5页
• 分类号: TN271+.2
• 字数: 3106字
• 语种: 中文

摘要

利用DEM(Deeptching,Electroforming,Microreplication)技术获得的微复制金属模具进行了微复制工艺研究.对微复制工艺参数进行了优化,在PC、PMMA和POM塑料上获得了高深宽比的微结构,并对PC、PMMA和POM和不同图形的微复制效果进行了比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张卫平	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术国家教委部门开放实验室	57	414	10.0	19.0
2	陈迪	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术国家教委部门开放实验室	38	301	8.0	16.0
3	蔡炳初	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术国家教委部门开放实验室	49	769	15.0	26.0
4	李昌敏	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术国家教委部门开放实验室	2	81	2.0	2.0
5	雷蔚	上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术国家教委部门开放实验室	2	20	1.0	2.0