功能梯度类金刚石薄膜的脉冲激光制备

• 作者: J.Narayan J.Sankar 魏秋明
• 来源期刊: 金属热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石 薄膜 功能梯度设计 准分子脉冲激光沉积
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 页码范围: 57-63
• 页数: 7页
• 分类号: TG1
• 字数: 3924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-6264.2000.02.010

摘要

长期以来,高质量的纯类金刚石薄膜的成功制备一直受其巨大内部压应力的阻碍,因为这种压应力导致严重的附着问题.厚度大于500nm的类金刚石薄膜中的压应力常使薄膜与基体剥离.作者采用功能梯度的设计概念,应用准分子脉冲激光沉积方法,成功制备了厚度超过1.0μm的高质量类金刚石薄膜.薄膜中的SP3碳原子含量超过60%.纳米硬度测试表明,薄膜的弹性模量高达500GPa,纳米硬度高达60GPa,薄膜与基体间附着良好.证明功能梯度的设计概念可以用于制备较厚的超硬类金刚石薄膜.