作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
良导体表面平面电磁波传播特征
良导体
透入深度
反射波
相位差
表面技术在半导体致冷器件中的应用
半导体致冷器件
表面技术
阳极氧化
电镀
化学镀
半导体分立器件的可靠性工艺控制方法
半导体器件
质量
可靠性
工艺控制
半导体气敏陶瓷的研究方法
气敏陶瓷
研究内容
研究方法
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 半导体表面腐蚀工艺方法改进
来源期刊 半导体技术 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2000,(3) 所属期刊栏目 器件研究与制造
研究方向 页码范围 37
页数 1页 分类号 TN3
字数 1482字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1003-353X.2000.03.011
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张宏杰 1 0 0.0 0.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
2000(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体技术
月刊
1003-353X
13-1109/TN
大16开
石家庄179信箱46分箱
18-65
1976
chi
出版文献量(篇)
5044
总下载数(次)
38
论文1v1指导