白光相移干涉中频谱对测量精度的影响

• 作者: 周明宝 夏立峰
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 相移干涉术 白光干涉术 频谱 面形测量 测量精度
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 干涉与衍射
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1
• 字数: 2112字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2000.03.002

摘要

在相移干涉中有时采用白光干涉来扩大深度测量范围,白光光源的使用,缩短了光束的相干长度,降低了测量精度.本文从干涉理论出发推导了白光相移干涉法测量三维表面形貌的计算公式,通过数值积分的方法分析了干涉光频谱对测量精度的影响.分析表明,在白光相移干涉测量中表面形貌的测量精度与中心波长和频谱宽度有关,白光频谱越宽,测量精度越低,中心波长越大,测量精度越高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周明宝	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	7	159	5.0	7.0