扁平管的ITO膜工艺攻关

• 作者: 程静 肖丽红
• 来源期刊: 光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扁平管 透明导电膜 直流磁控反应溅射 ITO膜
• 年，卷（期）: gdjs_2000,（4）
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TN14

摘要

国产的扁平管采用涂内导石墨工艺，而进口管采用较先进的镀ＩＴＯ导电膜工艺，因此其性能优于国产管。本论文主要介绍用铟锡合金靶直流磁控反应溅射制备ＩＴＯ透明导电膜的工艺，以及工艺攻关和其在生产上的应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖丽红		1	0	0.0	0.0
2	程静		1	0	0.0	0.0