新型滤波提高光刻分辨率方法研究

• 作者: 冯伯儒 周崇喜 姚汉民 孙方 张锦 罗先刚 陈芬
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光瞳滤波 逆傅利叶变换 卷积滤波 光刻分辨率
• 年，卷（期）: 2000,（4）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 21-27
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2123字
• 语种: 中文

摘要

推导出光刻成像的计算机模拟公式,讨论了光瞳滤波提高光刻分辨率的物理机理,给出了几个实验结果.提出逆傅利叶变换卷积滤波提高光刻分辨率的原理及方法,并和光瞳滤波进行了比较.结果表明:加入适当的光瞳滤波,在数值孔径为0.63的i线投影光刻曝光机上对0.25μm的密集型线条实现了0.43的光强对比度.采用逆傅利叶变换卷积滤波在数值孔径为0.60的193nm深紫外投影光刻曝光机上实现0.12um左右的密集型线条,得到较高对比度的空间像光强分布.