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等离子体刻蚀的数学模型
等离子体刻蚀的数学模型
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摘要：
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等离子体刻蚀金刚石膜的研究方法及现状
等离子体刻蚀
金刚石膜
进展
等离子体刻蚀中工艺参数对刻蚀速率影响的研究
感应耦合等离子体
干法刻蚀
硅
电感耦合等离子体刻蚀GaN材料的工艺研究
电感耦合等离子体刻蚀
GaN
刻蚀速率
选择比
直流偏压
低温等离子体刻蚀和接枝对 芳纶纤维/环氧复合材料力学性能的影响
芳纶纤维
低温等离子体
接枝改性
复合材料
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真空科学与技术学报
主办单位：
中国真空学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1672-7126
CN：
11-5177/TB
开本：
大16开
出版地：
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
邮发代号：
创刊时间：
1981
语种：
chi
出版文献量（篇）
4084
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3
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