多重空心阴极溅射靶及其应用

• 作者: 王从曾 苏学宽 马捷
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 多重空心阴极 溅射 镀膜 合金化
• 年，卷（期）: 2000,（5）
• 所属期刊栏目: 新工艺
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TG155.5
• 字数: 1031字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-6051.2000.05.008

摘要

研制了一种由多个空心阴极并列组合而成的可直接作为溅射靶的多重空心阴极溅射靶.其溅射输出量可用靶电压、气压及空心阴极的高度和宽度的比值控制.将多重空心阴极溅射靶应用于双辉离子金属渗镀试验.结果表明,这种方法可以加速金属渗镀层的形成.在靶电流密度较大的条件下,可以形成合金扩散层和纯金属沉积层的复合层组织.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马捷	北京工业大学材料科学与工程学院	39	235	9.0	13.0
2	王从曾	北京工业大学材料科学与工程学院	37	306	11.0	16.0
3	苏学宽	北京工业大学材料科学与工程学院	29	361	12.0	18.0