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微机电系统的微波应用
微机电系统的微波应用
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摘要：
介绍微机电系统(MEMS)这一新兴技术及其在微波和毫米波领域的应用。给出几种典型部件示例。
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微机电系统技术及其应用
微机电系统
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研究主题发展历程
节点文献
微机电系统(微电－机械系统)
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
微波学报
主办单位：
中国电子学会
出版周期：
双月刊
ISSN：
1005-6122
CN：
32-1493/TN
开本：
16开
出版地：
南京3918信箱110分箱
邮发代号：
创刊时间：
1980
语种：
chi
出版文献量（篇）
2647
总下载数（次）
8
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