21世纪的硅基材料--SOI

• 作者: 崔朝宏
• 来源期刊: 电子工艺技术
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基材料 制备技术:应用前景
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 2711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3474.2000.02.003

摘要

介绍了SOI材料的发展及主要制备技术,对其应用前景也作了详尽论述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔朝宏		2	74	2.0	2.0