超光滑表面三维微观轮廓检测的研究

• 作者: 王元庆
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 三维轮廓 共模抑制 二维扫描
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 178-182
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 2857字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.2000.03.004

摘要

利用干涉共模抑制和光电信号共模抑制技术,辅以二维扫描平台及计算机控制与数据处理技术,可以高精度地无损测量超光滑表面三维微观轮廓.本文论述了上述测量系统的原理、结构和误差分析,并讨论了关于三维微观轮廓的定义问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王元庆	安徽机电学院电气工程系	10	74	6.0	8.0