改进型电容压力传感器的设计

• 作者: 牟有静
• 来源期刊: 辽宁大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 挠度 弯曲刚度 断裂应力
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 154-156
• 页数: 3页
• 分类号: TP732
• 字数: 1565字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5846.2000.02.016

摘要

电容式集成压力传感器因其特有的一系列优点而被广泛采用,但硅杯形状对传感器的灵敏度影响较大,本文提出一种新的硅杯形状,并通过分析计算,设计出了改进型的电容式集成压力传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牟有静	辽宁大学信息科学与技术学院	15	74	4.0	8.0