离子束刻蚀过程中台阶侧壁倾斜现象研究

• 作者: 卢振武 廖江红 李红军 翁志成
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束刻蚀 菲涅耳透镜 台阶侧壁倾斜 衍射效率
• 年，卷（期）: 2000,（2）
• 所属期刊栏目: 离子束技术
• 页码范围: 28-33
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 字数: 2600字
• 语种: 中文

摘要

从标量衍射理论出发,在傅立叶光学的基础上,建立一个数学模型,分析台阶侧壁倾斜对多阶菲涅耳透镜衍射效率的影响.并通过实验,分析影响台阶侧壁倾斜、表面粗糙度和刻蚀速率的因素,确定离子束刻蚀菲涅耳透镜的最佳工艺参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李红军	中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室	83	1136	19.0	29.0
2	卢振武	中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室	93	1154	21.0	28.0
3	廖江红	中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室	11	165	7.0	11.0
4	翁志成	中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室	22	439	13.0	20.0